溅射法制备薄膜的物理过程 ■利用带电荷的离子在电场中加速后具有 定动能的特点,将离子引向欲被溅射 的物质制成的靶电极(阴极) ■入射离子在与靶面原子的碰撞过程中将 后者溅射出来 ■这些被溅射出来的原子将沿着一定的方 向射向衬底,从而实现物质的沉积◼ 利用带电荷的离子在电场中加速后具有 一定动能的特点，将离子引向欲被溅射 的物质制成的靶电极（阴极） ◼ 入射离子在与靶面原子的碰撞过程中将 后者溅射出来 ◼ 这些被溅射出来的原子将沿着一定的方 向射向衬底，从而实现物质的沉积 溅射法制备薄膜的物理过程