wiboo 薄膜溅射沉 积装置的示 男射靶 意图 阳径 通射气体 靶材是要溅射的材料,它作为阴极,相对于真空室内其他部 分处于负电位。阳极可以是接地的,也可以是浮动的薄膜溅射沉 积装置的示 意图 ——— 靶材是要溅射的材料，它作为阴极, 相对于真空室内其他部 分处于负电位。阳极可以是接地的，也可以是浮动的