气体的直流放电现象 以适当压力(10-l~10Pa)的惰性气体(一般为Ar )作为放电气体 在正负电极间外加电压的作用下,电极间的气体 原子将被雪崩式地电离,形成可以独立运动的 Ar离子和电子。电子加速飞向阳极,而带正电 荷的Ar+离子则在电场的作用下加速飞向作为阴 极的靶材 气体放电是物质溅射过程的基础◼ 以适当压力（10-110Pa）的惰性气体（一般为Ar ）作为放电气体 ◼ 在正负电极间外加电压的作用下，电极间的气体 原子将被雪崩式地电离，形成可以独立运动的 Ar+离子和电子。电子加速飞向阳极，而带正电 荷的Ar+离子则在电场的作用下加速飞向作为阴 极的靶材 ◼ 气体放电是物质溅射过程的基础 气体的直流放电现象