点击下载:北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第三讲 薄膜材料制备的溅射法 Preparation of thin films by sputtering
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气体的直流放电模型 阳极 粮子 C等子体 离于 t 在阴阳两极间,由电动势为E的直流电源提供靶 电压V和靶电流,并以电阻R作为限流电阻气体的直流放电模型 在阴阳两极间,由电动势为E的直流电源提供靶 电压V 和靶电流 I,并以电阻R 作为限流电阻
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