点击下载:北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第三讲 薄膜材料制备的溅射法 Preparation of thin films by sputtering
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气体放电的伏安特性曲线 le 南故电气棒含窗 阻击解 异定释光电 场生理 光電 是放电 热导者汇控 0 L/A 放电曲线分为 ■汤生放电段(气体分子开始出现电离) ■辉光放电段(产生大面积辉光等离子体) 弧光放电段(产生高密度弧光等离子体)气体放电的伏安特性曲线 放电曲线分为: ◼ 汤生放电段(气体分子开始出现电离) ◼ 辉光放电段(产生大面积辉光等离子体) ◼ 弧光放电段(产生高密度弧光等离子体)
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