点击下载:北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第三讲 薄膜材料制备的溅射法 Preparation of thin films by sputtering
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各种气体发生辉光放电的帕邢曲线 180o H 1200 空气 出 却900 C 2 3 P-d/pn-m 只有当Pad取一定数值时,气体才最容易维持辉光放电各种气体发生辉光放电的帕邢曲线 只有当 Pd 取一定数值时,气体才最容易维持辉光放电
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