点击下载:北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第三讲 薄膜材料制备的溅射法 Preparation of thin films by sputtering
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等离子体— plasma 放电击穿后,气体已成为具有一定导 电能力的等离子体,它是一种由离子、电 子及中性原子和原子团组成,而宏观上对 外呈现电中性的物质存在形式 相应于辉光和弧光放电,就有了辉光 放电等离子体和弧光放电等离子体放电击穿后,气体已成为具有一定导 电能力的等离子体,它是一种由离子、电 子及中性原子和原子团组成,而宏观上对 外呈现电中性的物质存在形式 相应于辉光和弧光放电,就有了辉光 放电等离子体和弧光放电等离子体 等离子体—— plasma
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