空气洁净技术 第五章洁净环境的品质 力的作用使粒子也容易吸附于物体表面,在半导体生产车间,静电会使半导体器件发生击穿。 所以,在洁净室内应对温、湿度加以控制 人体舒适感一般与下列因素有关:空气温湿度,吹过人体的空气速度、所在空间内各种 表面温度、人的活动强度、生活习惯、衣着情况、年龄、性别等 上述几种不同因素组合,可以给人以相同的冷热感觉即舒适感。相同的舒适感用等效温 度来表示。 所谓等效温度,是对应于相对湿度φ=50%,空气流速v=0.15ms时的空气温度,此时的 空气温度有许多个。这许多个温度的集合叫等效温度。 具有相同等效温度的状态点所对应的干球温度和相对湿度是不同的,但是给人的冷热感 觉和等效温度时是一样的。在洁净室中由于工作人员都穿工作服工作,而洁净工作服一般情 况下和普通衣服有所不同,所以在洁净室中感到较舒适的温湿度比一般环境温湿度要低,在 《洁净厂房设计规范》中规定:生产工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26℃,湿度 为70% 五、空气新鲜度 前已叙述,空气洁净度是指空气含有的灰尘微粒浓度的高低而言。并且和具体的级别相 联系。实际上这样的洁净只是物理学上的意义,是广义上的洁净度。而从化学和生理学角度 看,应用保证洁净空间内氧气的数量和质量以及负氧离子量。 1有害气体 在洁净室中除了含有CO2外,还有因生产工艺的不同含有其他各种有害气体,因此必须 使这些有害气体含量控制在一定范围内 2臭味 空气中的气味主要是针对臭味而言的,没有物理量的评价方法。一般用感觉性等级来评 价臭味强度。 3.空气离子 空气离子一般分为小离子、中离子、大离子三类。 ①空气离子的生物作用 空气离子对人体有一定的的生物作用,一般表现在可以降低血压、抑制哮喘、对神经系 统有镇静作用、并能使使恢复疲劳。 ②空气离子对室内气候的作用 1)使充电表面中性化。 2)使微粒加速沉降 在空气洁净系统中,除用换气次数来保证空气的新鲜度外,《洁净厂房设计规范》规定取 下列风量的最大值 乱流洁净室总送风量10%30%, 层流洁净室总送风量2~4% 补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。空气洁净技术 第五章 洁净环境的品质 ４ 力的作用使粒子也容易吸附于物体表面，在半导体生产车间，静电会使半导体器件发生击穿。 所以，在洁净室内应对温、湿度加以控制。 人体舒适感一般与下列因素有关：空气温湿度，吹过人体的空气速度、所在空间内各种 表面温度、人的活动强度、生活习惯、衣着情况、年龄、性别等。 上述几种不同因素组合，可以给人以相同的冷热感觉即舒适感。相同的舒适感用等效温 度来表示。 所谓等效温度，是对应于相对湿度 φ=50%，空气流速 v=0.15m/s 时的空气温度，此时的 空气温度有许多个。这许多个温度的集合叫等效温度。 具有相同等效温度的状态点所对应的干球温度和相对湿度是不同的，但是给人的冷热感 觉和等效温度时是一样的。在洁净室中由于工作人员都穿工作服工作，而洁净工作服一般情 况下和普通衣服有所不同，所以在洁净室中感到较舒适的温湿度比一般环境温湿度要低，在 《洁净厂房设计规范》中规定：生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为 20~26℃，湿度 为 70%。 五、空气新鲜度 前已叙述，空气洁净度是指空气含有的灰尘微粒浓度的高低而言。并且和具体的级别相 联系。实际上这样的洁净只是物理学上的意义，是广义上的洁净度。而从化学和生理学角度 看，应用保证洁净空间内氧气的数量和质量以及负氧离子量。 1.有害气体 在洁净室中除了含有 CO2 外，还有因生产工艺的不同含有其他各种有害气体，因此必须 使这些有害气体含量控制在一定范围内。 2.臭味 空气中的气味主要是针对臭味而言的，没有物理量的评价方法。一般用感觉性等级来评 价臭味强度。 3.空气离子 空气离子一般分为小离子、中离子、大离子三类。 ①.空气离子的生物作用 空气离子对人体有一定的的生物作用，一般表现在可以降低血压、抑制哮喘、对神经系 统有镇静作用、并能使使恢复疲劳。 ②.空气离子对室内气候的作用 1）使充电表面中性化。 2）使微粒加速沉降。 在空气洁净系统中，除用换气次数来保证空气的新鲜度外，《洁净厂房设计规范》规定取 下列风量的最大值： ·乱流洁净室总送风量 10%~30%， 层流洁净室总送风量 2~4% ·补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量