空气洁净技术 第五章洁净环境的品质 (静压),压力差的维持一般应符合以下原则: 1.洁净空间的压力要高干非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相知的洁净度级别低的空间的压力 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间 《洁净厂房设计规范》规定: 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于49Pa 洁净区与室外的静压差,应不小于98Pa 洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算: Q=a·2(q1) a——根据维护结构的气密性确定的安全系数,一般取a=1.1~1.2 q—一洁净室为某一正压值时,其维护结构单位长度缝隙的漏风量,m3/hm —一维护结构的缝隙长度,m。 维护结构单位长度缝隙的漏风量q(m3/hm) 表5-4 门窗形式 单层固定单层固定单层开启式 压差(Pa)非密闭门密闭门 传递窗 壁板 密闭木窗密闭钢窗密闭钢窗 漏风量(m3/hm) 9.8 6 1.0 4.5 3.0 0.6 14.7 2.0 6.0 4.0 24.5 40 294 3.0 19 6.0 14 34.3 48 12 3.5 2.1 0 7.0 1.5 39 52 13 3.8 10.0 1.7 44.1 10.5 49.0 16 4.4 2.6 11.5 9.0 2.0 对于生物学洁净室,为了防止危险的微生物从操作或研究对象散发到控制空间以外而造 成污染,需保持内部的压力低于外部的压力。一般根据生物学危险级别来确定负压的程度。 四、温、湿度 洁净空间的温、湿度主要是根据工艺要求来确定的。在满足工艺要求的条件下,应考虑 人的舒适感。 温度对生产工艺的影响,主要是从产品精度和合格率来考虑的。另一方面也从污染角度 考虑。因为温度升高后,会引起人出汗,汗水会对产品产生污染 湿度过髙产生的问题也很多,如相对湿度超过55%以后,冷却水管壁面上会结露。如果 发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。 此外,湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除。但是相对湿度低于30%时,又由于静电空气洁净技术 第五章 洁净环境的品质 ３ （静压），压力差的维持一般应符合以下原则： 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。 《洁净厂房设计规范》规定： 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于 4.9Pa。 洁净区与室外的静压差，应不小于 9.8 Pa。 洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算： Q=a·Σ(q l) m3 /h a——根据维护结构的气密性确定的安全系数，一般取 a=1.1~1.2 q——洁净室为某一正压值时，其维护结构单位长度缝隙的漏风量，m3 /h·m。 l——维护结构的缝隙长度，m。 维护结构单位长度缝隙的漏风量 q（m3 /h•m） 表 5—4 压差（Pa） 门窗形式 非密闭门 密闭门 单层固定 密闭木窗 单层固定 密闭钢窗 单层开启式 密闭钢窗 传递窗 壁板 漏风量（m3 /h·m） 4.9 17 4 1.0 0.7 3.5 2.0 0.3 9.8 24 6 1.5 1.0 4.5 3.0 0.6 14.7 30 8 2.0 1.3 6.0 4.0 0.8 19.6 36 9 2.5 1.5 7.0 5.0 1.0 24.5 40 10 2.8 1.7 8.0 5.5 1.2 29.4 44 11 3.0 1.9 8.5 6.0 1.4 34.3 48 12 3.5 2.1 9.0 7.0 1.5 39.2 52 13 3.8 2.3 10.0 7.5 1.7 44.1 55 15 4.0 2.5 10.5 8.0 1.9 49.0 60 16 4.4 2.6 11.5 9.0 2.0 对于生物学洁净室，为了防止危险的微生物从操作或研究对象散发到控制空间以外而造 成污染，需保持内部的压力低于外部的压力。一般根据生物学危险级别来确定负压的程度。 四、温、湿度 洁净空间的温、湿度主要是根据工艺要求来确定的。在满足工艺要求的条件下，应考虑 人的舒适感。 温度对生产工艺的影响，主要是从产品精度和合格率来考虑的。另一方面也从污染角度 考虑。因为温度升高后，会引起人出汗，汗水会对产品产生污染。 湿度过高产生的问题也很多，如相对湿度超过 55%以后，冷却水管壁面上会结露。如果 发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在 50%时易生锈。 此外，湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除。但是相对湿度低于 30%时，又由于静电