空气洁净技术 第五章洁净环境的品质 美国联邦标准FS209E的洁净度等级划分见表5-3 美国联邦标准FS209E的洁净度等级划分 表5-3 粒径(μm) 级别名称 0.1 0.2 0.3 0.5 单位体积粒子数 SI英制|(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3) f5)(m3)(ft) 99175721430.90.87510 M1. 5 1240350265 75106 3.035.3 350099.1757 214309 875100 M2.5 1012400 3502650 7501060 30.0353 10.0 M3 35000 9917570 2143090 8751000 M3.5 100 26500750106003003530 757002140309008751000 283 M451000 35300 1000247 00000 283061817.5 M5.510000 353000 10000247070.0 100000 1000000 2830061 M6510000 35300001000024700700 M7 10000000283000618001750 二、气流速度 在洁净室内,一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释,另一方面是加速排出室 内浓度高的污染空气,所以洁净室内空气的流速既要有一定的速度,才能防止其他因素(如 热流)的扰乱,但又不能太大,流速太大将使室内积尘飞扬,造成新的污染。 气流速度有以速度限制的,也有以换气次数限制的 乱流洁净室:吹过水平面的气流速度<02m/s 层流洁净室:垂直平行流洁净室≥0.25ms 水平平行流洁净室≥0.35m/s 当按洁净级别划分时,换气次数为: 100级 ≥360次/h 1000级 ≥50次h 10000级 100000级≥15次h 三、压力 对于大部分洁净室,为了防止外界污染侵入,需保持室内压力(静压)高于外部的压力空气洁净技术 第五章 洁净环境的品质 ２ 美国联邦标准 FS209E 的洁净度等级划分见表 5—3。 美国联邦标准 FS209E 的洁净度等级划分 表 5—3 级别名称 粒径（μm） 0.1 0.2 0.3 0.5 5 单 位 体 积 粒 子 数 SI 英制 (m3 ) (ft3 ) (m3 ) (ft3 ) (m3 ) (ft3 ) (m3 ) (ft3 ) (m3 ) (ft3 ) M1 M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 1 10 100 1000 10000 100000 100000 350 9.91 1240 35.0 3500 99.1 12400 350 35000 991 — — — — — — — — — — — — — — — — 75.7 2.14 265 7.5 757 21.4 2650 75.0 7570 214 26500 750 75700 2140 — — — — — — — — — — — — 30.9 0.875 106 3.0 309 8.75 1060 30.0 3090 87.5 10600 300 30900 875 — — — — — — — — — — — — 10 0.283 35.3 1.0 100 2.83 353 10.0 1000 28.3 3530 100 10000 283 35300 1000 100000 2830 353000 10000 1000000 28300 3530000 100000 10000000 283000 — — — — — — — — — — — — — — 247 7.0 618 17.5 2470 70.0 6180 175 24700 700 61800 1750 二、气流速度 在洁净室内，一方面是送入洁净空气对室内污染空气进行稀释，另一方面是加速排出室 内浓度高的污染空气，所以洁净室内空气的流速既要有一定的速度，才能防止其他因素（如 热流）的扰乱，但又不能太大，流速太大将使室内积尘飞扬，造成新的污染。 气流速度有以速度限制的，也有以换气次数限制的： 乱流洁净室：吹过水平面的气流速度＜0.2 m/s 层流洁净室：垂直平行流洁净室≥0.25m/s 水平平行流洁净室≥0.35m/s 当按洁净级别划分时，换气次数为： 100 级 ≥360 次/h 1000 级 ≥50 次/h 10000 级 ≥25 次/h 100000 级 ≥15 次/h 三、压力 对于大部分洁净室，为了防止外界污染侵入，需保持室内压力（静压）高于外部的压力