6.1电子探针的分析原理和构造 d)分析点精确的确定 先利用能发出荧光的材料置于电 子束轰击下，这时就能观察到电 灯泡 电子窠 子束轰击点的位置，通过样品移 动装置把它调到光学显微镜目镜 反射物就 的十字线交叉点上。然后用同样 方法，把样品上待分析点置于光 学显微镜的目镜十字线交叉点上， 对光学显微镜调焦，使待分析点 肉眼目镜 在十字线交叉点上清晰成像：这 样就保证电子束正好轰击在待分 析点上，同时也保证了分析点处 于X射线分光谱仪的正确位置（罗 兰圆)上。 样品 图6-2反射式物镜同轴光学观察系统6.1 电子探针的分析原理和构造 d）分析点精确的确定 先利用能发出荧光的材料置于电 子束轰击下，这时就能观察到电 子束轰击点的位置，通过样品移 动装置把它调到光学显微镜目镜 的十字线交叉点上。然后用同样 方法，把样品上待分析点置于光 学显微镜的目镜十字线交叉点上， 对光学显微镜调焦，使待分析点 在十字线交叉点上清晰成像；这 样就保证电子束正好轰击在待分 析点上，同时也保证了分析点处 于X射线分光谱仪的正确位置（罗 兰圆）上。 图6-2 反射式物镜同轴光学观察系统