6.1电子探针的分析原理和构造 1.电子光学系统 a)基本与扫描电镜相同； b)增加光学显微镜和要求比扫描电镜更大的入 射电子束流以满足波谱议工作的要求。 c)电子探针的样品室结构与扫描电子显微镜样 品室类同。考虑到电子探针定量分析要求在完 全相同的入射激发条件下，对未知样品和待分 析元素的标样测定特征谱线的强度，样品台需 要可同时容纳多个样品座，分别放置未知样品 和标样。6.1 电子探针的分析原理和构造 1. 电子光学系统 a）基本与扫描电镜相同； b）增加光学显微镜和要求比扫描电镜更大的入 射电子束流以满足波谱议工作的要求。 c）电子探针的样品室结构与扫描电子显微镜样 品室类同。考虑到电子探针定量分析要求在完 全相同的入射激发条件下，对未知样品和待分 析元素的标样测定特征谱线的强度，样品台需 要可同时容纳多个样品座，分别放置未知样品 和标样