6.1电子探针的分析原理和构造 6.1.2构造 电子探针主要有电子 电子枪 光学系统（镜筒） 、 亮压电源 聚光镜1 X射线谱仪和信息记 透镜电源 录、显示系统，如图 豪光镜2 计算机数 据处理等 光学显微镜① 6-1所示。 计数电路 扫描电子显微镜是以 电子检测器 计数率仪 样品 X射线像 能谱仪为主要配制。 X射线谱仪 显示 电子探针以波谱议为 抽真空 放大器 主要配置，从而要有 电子像 光学显微镜来确定分 析点。6.1 电子探针的分析原理和构造 6.1.2构造 电子探针主要有电子 光学系统（镜筒）、 X射线谱仪和信息记 录、显示系统，如图 6-1所示。 扫描电子显微镜是以 能谱仪为主要配制。 电子探针以波谱议为 主要配置，从而要有 光学显微镜来确定分 析点