伺服系统实际结构 CNC 伺服驱 编码器 TG 动装置 SM 1.方式一 a) 转速反馈与位置反馈信 号处理分离 位置控制模块（测量电路模块） x1110 第1轴 XI8SNNIS X1210 第2轴 X1310 第3轴 x1410 第1轴 第2轴 第3轴 6595614 SIoD聚癢好 PEUV w 区311 SM 39 RLG ROD 1FT5伺最电动机 光电脉冲编码器 b)1. 方式一 转速反馈与位置反馈信 号处理分离 伺服系统实际结构