第三节气、湿敏传感器应用 一、自动吸排油烟机 二、便携式缺氧监视器 三、自动去湿器 目标及要求： 1、掌握半导体气敏传感器的结构和工作原理： 2、掌握湿敏传感器的结构和工作原理。 3、了解气敏和湿敏传感器的应用和发展趋势。 教学模式：课堂授课、课后复习。 知识点：气敏传感器的工作原理、分类、应用：湿敏传感器的工作原理、应用。 能力：能够将湿敏和气敏传感器用于测量和控制系统中数据信号的采集：培养学生的分析问 题能力以及综合运用所学知识的能力。 第十章MEMS传感器(3学时)（支撑课程目标2，课程目标3） 教学内容： 第一节MEMS传感器及其特点 一、MEMS传感器的产生 二、微传感器的敏感机理★ 第二节MEMS传感器的加工技术△ 体微加工工艺，表面微加工工艺，LIGA工艺，硅片溶解工艺，EFAB工艺 第三节典型微传感器及应用 第四节传感器的网络化及应用 目标及要求： 1、了解MEMS传感器的加工工艺： 2、了解MEMS传感器的敏感机理。 3、了解MEMS传感器的应用和发展趋势。 教学模式：课堂授课、课后复习。 知识点：MEMS传感器加工工艺，敏感机理，应用。 能力：能够将MEMS传感器用于测量和控制系统中数据信号的采集：培养学生的分析问题能 力以及综合运用所学知识的能力。 四、教学方法 1、采用传统教学方式与多媒体课件相结合进行教学：充分利用学校的课程录播视频和课程 中心网站资源辅助教学。 2、在课堂教学中，阐述基本原理，结构，测量电路，理论联系实际，培养学生的理解能力、 和创新能力：第三节 气、湿敏传感器应用 一、自动吸排油烟机 二、便携式缺氧监视器 三、自动去湿器 目标及要求： 1、掌握半导体气敏传感器的结构和工作原理； 2、掌握湿敏传感器的结构和工作原理。 3、了解气敏和湿敏传感器的应用和发展趋势。 教学模式：课堂授课、课后复习。 知识点：气敏传感器的工作原理、分类、应用；湿敏传感器的工作原理、应用。 能力：能够将湿敏和气敏传感器用于测量和控制系统中数据信号的采集；培养学生的分析问 题能力以及综合运用所学知识的能力。 第十章 MEMS传感器（3学时）(支撑课程目标2，课程目标3) 教学内容： 第一节 MEMS传感器及其特点 一、MEMS传感器的产生 二、微传感器的敏感机理 第二节 MEMS传感器的加工技术 体微加工工艺 ，表面微加工工艺 ，LIGA工艺 ，硅片溶解工艺， EFAB工艺 第三节 典型微传感器及应用 第四节 传感器的网络化及应用 目标及要求： 1、了解MEMS传感器的加工工艺； 2、了解MEMS传感器的敏感机理。 3、了解MEMS传感器的应用和发展趋势。 教学模式：课堂授课、课后复习。 知识点：MEMS传感器加工工艺，敏感机理，应用。 能力：能够将MEMS传感器用于测量和控制系统中数据信号的采集；培养学生的分析问题能 力以及综合运用所学知识的能力。 四、 教学方法 1、 采用传统教学方式与多媒体课件相结合进行教学；充分利用学校的课程录播视频和课程 中心网站资源辅助教学。 2、 在课堂教学中，阐述基本原理，结构，测量电路，理论联系实际，培养学生的理解能力、 和创新能力；