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、为了检验轧制金属板的表面质量,要求激光束在平面上一定宽度内作均速扫描,并且 具有一定的分辨率。这是对激光扫描器的基本要求。由H一N2激光器射出的光束经反射 镜投射到由倒置望远镜组成的准直扩束系统,准直扩束后的光束经反射镜4投射到12面旋 转桉镜上,旋转镜由电机带动作高速旋转。由于反射光束的角位移是旋转镜角位移的两倍, 因此当旋转镜转动一个面(旋转衡一个面角即39)时,其反射光完成一次扫描。扫描光 束通过F一日镜头.(聚焦平场透镜组)便得到一个聚焦很好的平场扫描光点。扫描频率可 通过调节电机电压改变电机转速来实现。8是测频探头,用来测量扫描频率。为了能调节 扫描光束投射到金属表面的入射角,在扫描器出射口按装了一个可转动的反射镜。 为了能检测运动的薄纲带的表面光洁度和小孔等缺陷,扫描光点必须有较高的分辨 率。直接用He-Ne激光器输出的激光束进行扫描聚焦是不能满足这一要求的。所以我们在 扫描前先用倒置望远镜进行准直扩束,光班扩束约13倍,准直距离约增大170倍。 关于聚焦平场透镜组。在普通校正畸变的摄影物镜中,如图(4)所示,扫描复盖度 1=2ftg0,式中f为透镜焦距,20为总 扫描角,扫描光点的速度为 u== (2ftg0) =_2f、d0.4rnf =cm20 df=cm20 式中n为旋转镜转速。由此可见,扫描 速度是不均匀的。为了得到匀速扫描, 必须使实际的扫描复盖度为1'=2f0, 图(4) 即故意让透镜组产生正的桶形畸变,使 实际扫描点位置1'比理论扫描点位登1小信,也就是产生一个大小为(30-9)的线 畸变。这样扫描速度为 di=2r df=4xnf 可见扫描速度是恒定不变的。透镜的这种作用叫平场。透镜组的另一作用是将入射光束聚 焦成很小的光班。所以这种透镜组称为F-0镜头。 旋转多面棱镜是扫描器的核心。由于我们采用物镜前扫描,因此多面镜的按装位置精 确度要求并不高。但它的转速的稳定,转动的平稳直接影响扫描频率的稳定和扫描线的质 量。因此电机的电源必须采用稳定度高的稳压电源,以保证转速的稳定。旋转镜和电机转 轴之间采用锥形配合,以保证有较好的同心度。旋转镜必须严格的保持在水平面内旋转, 否则将引起扫描线的波动。此外电机和旋转镜要尽可能减小振动,其它部件和机架的固有 频率应远离扫描频率,,以防发生共振现象,严重影响扫描质量。 光源采用一般的小功率(1~3mw)He-Ne激光器,反射镜采用一般的玻璃平面反射 镜。 2.光路计算 138、 为 了检验轧制金属板的表面质量 , 要求激光束在平面上二定宽度 内作均速 扫描 , 并且 具有一定的分辨率 。 这 是对激光 扫描器 的基本要求 。 由 一 激光 器射出的光束经 反 射 镜投射到 由倒置望远镜组成 的准直扩束系统 , 准直扩束后 的光束经 反射镜 投射到 面旋 转棱镜上 , 旋转镜 由电机带动作高速旋转 。 由于反射光束的角位移是旋转镜 角位移的两倍 , 因此 当旋转镜转动一个面 旋转镜一 个 面 角即 时 , 其反射光 完成一 次扫描 。 扫描光 束通过 一 镜头 聚焦平场透镜组 便 得到 一个 聚 焦很好 的平场扫描光点 。 扫描频率可 通过调节 电机 电压改 变龟机转速来实现 。 是测频探头 , 用 来测量 扫描频率 。 为 了能 调 节 扫描光 束投射到金属表面 的入射角 , 在扫描器出射 口 按装 了一个可转动的反射 镜 。 为 了能检测运动的薄纲 带的表 面光洁度和小孔等缺陷 , 扫描光点必须有较 高 的 分 辨 率 。 直接用 一 激光器输出的激光 束进行扫描聚焦是不 能满足这一要求的 。 所 以我们在 扫描前先用倒置望远镜进 行准直扩束 , 光班扩束约 倍 , 准直 距离约增大 倍 。 关于 聚焦平 场透镜 组 。 在普通校正 畸变的摄影 物镜 中 , 如 图 所 示 , 扫描复 盖 度 , 式 中 为透镜焦距 , 为总 扫描 角 , 扫描光点的速度为 八奋月 一 它,, 一 曰 ︸了几‘万 一 一 北 图 式 中 为旋转镜转速 。 由此可见 , 扫描 速度是不 均匀的 。 为 了得到匀速扫描 , 必须使实际 的扫描复盖 度 为 尸 二 , 即故意让 透镜组产生正 的桶 形 畸变 , 使 实际扫描点位置 , 比 理 论 扫描点位置 小去倍 , 也就是产生一 个大小为 于。 的线 吕口 畸变 。 这 样扫描速度 为 狱一 二 , 下 兀 可见扫描速度是恒定不 变的 。 透镜 的这种作用 叫平场 。 透镜组 的另一 作用 是将入射光束 聚 焦成很小的光班 。 所 以这种透 镜组称为 一 镜头 。 旋转多面棱镜是扫描器 的核心 。 由于 我们 采用 物镜前扫描 , 因此 多面镜 的按装位置精 确度要求并不 高 。 但它 的转速 的稳定 , 转动的平稳直接影 响扫描频率的稳定和扫描线的质 量 。 因此 电机的电源必须采用稳定度 高 的稳压 电源 , 以保证转速 的稳定 。 旋 转镜和 电机转 轴之 间采用锥形配合 , 以保证有较好的同心度 。 旋 转镜 必须严格的保持在水平面 内旋 转 , 否则将 引起扫描线的波动 。 此外电机和旋 转镜要尽 可能减小振动 , 其它部件和 机架的固有 频 率应远离扫描频率 , 以 防发生共振现 象 , 严重影响扫描质量 。 光 源采用 一般的小功率 一 激光 器 , 反 射镜 采用一 般的玻璃平面反射 镜 。 光路计算
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