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量轧制金属板表面的光洁度、平直度、宽度和各种缺陷(坑、槽、刀痕、小孔、油污), 也可以测量检验其它对表面质量要求高的产品如高级纺织品,显象管屏幕用玻璃等。因此 在生产过程中用激光连续扫描表面的光导自动检测技术是现代各种视觉检查中规模最大、 技术最发展的领域[2]。激光扫描和接收装置就是这类自动检测技术中最基本最主要的装 置。本装置正是主要为开展自动检测薄钢带表面质量的研究而研制的。 本装置是参照1977年日本三菱电机简报刊登的“用激光自动检查金属表面的装置”一 文中检测头部的基本构成图加以改进设计而成的。我们用旋转多面镜代替了振动镜,为了 改进扫描的线性,采用了F-日镜头,接收器采用了大面积光导纤维传光束。我们在实验室利 用这套装置初步进行了钢带小孔和宽度测量的研究,证明扫描器性能稳定可靠,光导纤维 接收装置的透光率等基本满足表面质量检测研究的要求。 二、激光扫描器 1.原理和构成 图(2)为我们研制的激光扫描器的照片,其结构原理如图(3)所示。 图2激光扫描器照片 12 13 1He一Ne激光器2反射镜3扩束准直系统4反射镜 5旋转12面棱镜6F-0透镜7微光电源8测频探头 9扫描电机10电机电源11微光电颈调节12电机电流指示 13电机电压诚节(调频)14反射镜 图3激光扫描器结构原理图 137量轧制金属板表面 的光洁度 、 平直度 、 宽度和各种缺陷 坑 、 槽 、 刀痕 、 小 孔 、 油污 , 也可以测量检验其它 对表面质量要求高的产 品如高级纺织 品 , 显 象管屏幕用玻璃等 。 因此 在生产过程 中用激光连续扫描表面 的光导 自动检测技术是现代各种视觉检查 中规模最大 、 技术最发展的领域 〔 “ 〕 。 激光扫描和接收装置就是这类 自动检测技术中最基 本最主 要 的装 置 。 本装置正 是主 要 为开展 自动检测薄钢带表面 质量的研究而研制的 。 本装置是参照 年 日本三 菱 电机简报刊登 的 “ 用激光 自动检查金属表面 的装置” 一 文中检侧头部的基本构成图加以 改进设计而 成的 。 我们用旋转多面镜代替了振动镜 , 为了 改进扫描的线性 , 采用 了 一 镜头 , 接收器采用 了大面积光导纤维传光束 。 我们在实验室利 用这套装置初步进 行了钢带小孔和宽度测量的研究 , 证 明扫描器性能稳定可靠 , 光导纤维 接收装置的透光率等基本满足表面质量检 测研究 的要求 。 二 、 激光扫描器 原理和 构成 图 为我们研制的激光扫描器的照片 , 其结构原理 如图 所示 。 图 激光扫描器照片 厂一 一 一 激光器 反 射镜 扩束准直系统 反射镜 旋转 面梭镜 一 透镜 激光 电源 侧频探头 扫描电机 电机 电源 激光 电源 调节 电机电流指示 电机电压调节 调频 反射镜 图 激光扫描器结构原理图 注
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