University of Electronic Science and Technology of China 956 扩散法制作光波导示意图 光刻胶 紫外光曝光 显影、化学腐蚀 待扩散金属 WW 并去除光刻胶后 波导材料 波导材料 波导材料 (1) (2) (3) 制作上包层后 高温炉中进行扩散 (可不制作上包层) 扩散完成后 波导材料 波导材料 波导材料 (6) (5) (4) 5University of Electronic Science and Technology of China 5 紫外光曝光 （1） （2） （3） 光刻胶 待扩散金属 （4） 显影、化学腐蚀 并去除光刻胶后 （6） （5） 高温炉中进行扩散 波导材料 波导材料 波导材料 波导材料 波导材料 扩散完成后 波导材料 制作上包层后 (可不制作上包层) 扩散法制作光波导示意图