二极直流放电离子镀的操作环境(续) ◆在薄膜沉积前,在阴阳两极之间施加2~5kV的电 压,使气体发生辉光放电,产生等离子体。Ar 离子在电压驱动下对衬底进行轰击 ◆在不间断离子轰击的情况下开始物质的蒸发沉 积过程。蒸发出来的粒子将与等离子体发生相 互作用。由于A的电离能比被蒸发元素的电离 能更高,因而在等离子体内将会发生Ar离子与 蒸发原子之间的电荷交换,蒸发原子发生部分 的电离 含有相当数量离子的蒸发物质在两极间被加速 并带着相应的能量轰击薄膜。但离子轰击产 生的溅射速率要低于蒸发沉积的速率◆ 在薄膜沉积前，在阴阳两极之间施加25kV的电 压，使气体发生辉光放电，产生等离子体。Ar 离子在电压驱动下对衬底进行轰击 ◆ 在不间断离子轰击的情况下开始物质的蒸发沉 积过程。蒸发出来的粒子将与等离子体发生相 互作用。由于Ar的电离能比被蒸发元素的电离 能更高，因而在等离子体内将会发生Ar离子与 蒸发原子之间的电荷交换，蒸发原子发生部分 的电离 ◆ 含有相当数量离子的蒸发物质在两极间被加速 ，并带着相应的能量轰击薄膜。但离子轰击产 生的溅射速率要低于蒸发沉积的速率 二极直流放电离子镀的操作环境（续）