离子镀时发生的微观效应 离子镀过程中,离子轰击将导致发生多个重要 的物理效应: (1)表面物质的溅射效应 (2)离子注入、在薄膜中诱发缺陷 (3)使薄膜形貌与成分发生变化 (4)使界面成分混杂 (5)气体原子的溶入 (6)基片温度升 (7)改变薄膜的应力状态,等离子镀过程中，离子轰击将导致发生多个重要 的物理效应: （1）表面物质的溅射效应 （2）离子注入、在薄膜中诱发缺陷 （3）使薄膜形貌与成分发生变化 （4）使界面成分混杂 （5）气体原子的溶入 （6）基片温度升高 （7）改变薄膜的应力状态，等 离子镀时发生的微观效应