★气相合成法(CVD法) 气相法是用含碳气态物质作碳源，产物往往是附在基体上 的金刚石薄膜。研究表明，含碳气态物质在一定高温分解出的 甲基自由基，甲基自由基相当于金刚石的活性种子。因为金刚 石中的碳处于sp杂化状态，甲基中的碳也处于sp杂化状态，甲 基自由基分解后便以金刚石的形式析出。 →碳氢化合物 热解 一甲基 热解（表面石墨 原料气一 刻蚀 氢气 均裂 一原子氢 金刚石甲基(CH,) 气相合成法又可分为 ●热丝CVD法 ●等离子体化学气相沉积法(PCVD法) ●燃烧火焰法 气相合成法又可分为 热丝CVD法 等离子体化学气相沉积法(PCVD法) 燃烧火焰法 ★气相合成法(CVD法) 气相法是用含碳气态物质作碳源，产物往往是附在基体上 的金刚石薄膜。研究表明，含碳气态物质在一定高温分解出的 甲基自由基，甲基自由基相当于金刚石的活性种子。因为金刚 石中的碳处于sp3杂化状态，甲基中的碳也处于sp3杂化状态，甲 基自由基分解后便以金刚石的形式析出。 碳氢化合物 甲基 石墨 原料气 刻蚀 氢气 原子氢 甲基(CH3 ) 热解 热解(表面) 均裂 金刚石