CH+H2 CH+Hz 水冷管 石英管 水 钨丝 基样 导波 基样 内焰 外焰 基体 焰芯 托盘 磁控管 焰炬 排气 C2H2+02 热丝CVD法 PCVD法 火焰法 金刚石的三种气相合成法热丝CVD法 PCVD法 火焰法 金刚石的三种气相合成法