第章半导体传感器 表91半导体气敏元件的分类 主要物理特性类型 检测气体 气敏元件 表面控制型可燃性气体|SnO、ZnO等的烧结体、溥膜、厚膜 氧化镁,SnO2 电阻型 电阻 酒精 体控制型可燃性气体氧化钛(烧结体) 氧气 T-Fe2 O3 氢气 铂一硫化镉 二极管整流 一氧化碳 铂一氧化钛 非电阻型 特性 表面控制型酒精 金属—一半导体结型二极管) 晶体管特性 氢气、硫化氢铂栅、钯栅MOS场效应管第9章 半导体传感器 表9-1 半导体气敏元件的分类