盏第障章半导体传感器￡ 半导体气敏传感器 工作原理:利用待测气体与半导体表面接触时,产生的电导率 等物理性质变化来检测气体。 分类: 表面控制型和体控制型—按照半导体与气体相互作用时产生的变 化只限于半导体表面或深入到半导体内部,可分为 表面控制型一半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子 接受,结果使半导体的电导率等物理性质发生变化,但内部化学 组成不变; 体控制型--￥导体与气体的反应,使半导体内部组成发生 变化,历使电导率变化 电阻型和非电阻型—按照半导体变化的物理特性,又可分为~。 电阻型是利用敏感材料接触气体时,其阻值变化来检测气体 的成分或浓度; 非电阻型是利用其它参数,如二极管伏安特性和场效应晶体 管的阈值电压变化来检测被测气体的第9章 半导体传感器 半导体气敏传感器 工作原理：利用待测气体与半导体表面接触时， 产生的电导率 等物理性质变化来检测气体。 分类： 表面控制型和体控制型—按照半导体与气体相互作用时产生的变 化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为～。 表面控制型----半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子 接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学 组成不变； 体控制型----半导体与气体的反应，使半导体内部组成发生 变化，而使电导率变化。 电阻型和非电阻型—按照半导体变化的物理特性，又可分为～。 电阻型是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体 的成分或浓度； 非电阻型是利用其它参数，如二极管伏安特性和场效应晶体 管的阈值电压变化来检测被测气体的