2.1物理气相沉积(PVD) 2.1.1物理气相沉积原理 在沉积环境中,以各种物理 方法产生的原子或分子沉积在基 体上,形成薄膜或涂层的过程称 为物理气相沉积.2.1物理气相沉积(PVD) 2.1.1 物理气相沉积原理 在沉积环境中,以各种物理 方法产生的原子或分子沉积在基 体上,形成薄膜或涂层的过程称 为物理气相沉积