10.1高能电子束与固体样品的相互作用 入射电子束 特征X射线 背散射电子 俄歇电子 阴极荧光 二次电子 吸收电子 y(试样吸收电流) 束感生电效应 透射电子 图10-1高能电子束与固体样品的相互作用6 10.1 高能电子束与固体样品的相互作用