10.1高能电子束与固体样品的相互作用 经电子透镜聚焦以后的高能电子束入射到固体样品表面上, 便与样品中的原子发生碰撞而产生弹性或非弹性散射等一系列 物理效应,如背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、 X射线、俄歇电子、阴极荧光及电子一空穴对,如图10-1所示。 通过检测这些效应,就可以获得关于样品的表面形貌、组成和 结构的丰富信息。现只介绍与研究聚合物有关的前4种成像电 子和特征X射线的产生。5 10.1 高能电子束与固体样品的相互作用 经电子透镜聚焦以后的高能电子束入射到固体样品表面上， 便与样品中的原子发生碰撞而产生弹性或非弹性散射等一系列 物理效应，如背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、 X射线、俄歇电子、阴极荧光及电子－空穴对，如图10-1所示。 通过检测这些效应，就可以获得关于样品的表面形貌、组成和 结构的丰富信息。现只介绍与研究聚合物有关的前4种成像电 子和特征X射线的产生