·化学品器件生产过程中化学品的应用是不可避 免的,有些化学品将导致晶片表面受到不必要的 刻蚀,或者生成无法除去的化合物等,氯就是其 中之一的污染物,所以,工艺过程中用到的化学 品氯的含量必须受到严格控制 ·细菌主要来源于水中,是一种生成物。细菌 旦形成,会成为颗粒状污染物或给器件表面引入 不希望的金属离子 ·污染的影响 器件工艺的良品率器件性能器件的可靠性• 化学品 器件生产过程中化学品的应用是不可避 免的，有些化学品将导致晶片表面受到不必要的 刻蚀，或者生成无法除去的化合物等，氯就是其 中之一的污染物，所以，工艺过程中用到的化学 品氯的含量必须受到严格控制。 • 细菌 主要来源于水中，是一种生成物。细菌一 旦形成，会成为颗粒状污染物或给器件表面引入 不希望的金属离子。 • 污染的影响 器件工艺的良品率 器件性能 器件的可靠性