5.3污染源 下面将讨论对器件生产中产生影响的各类污 染的来源、性质及其控制。从LSI出现以来,污染 控制就突现出来它的重要性。如今污染控制本身 已成为一门科学,是制造半导体器件必须掌握的 关键技术之一。 5.3.1普通污染源 实际上芯片生产过程中任何与产品相接触的 物质都是潜在的污染源。主要有: 空气厂房设备工作人员使用的水 化学溶剂化学气体静电5.3 污染源 下面将讨论对器件生产中产生影响的各类污 染的来源、性质及其控制。从LSI出现以来，污染 控制就突现出来它的重要性。如今污染控制本身 已成为一门科学，是制造半导体器件必须掌握的 关键技术之一。 5.3.1 普通污染源 实际上芯片生产过程中任何与产品相接触的 物质都是潜在的污染源。主要有： 空气 厂房设备 工作人员 使用的水 化学溶剂 化学气体 静电