硅 Ⅹ=B/At 硅的线性氧化 Ⅹ 硅 硅的抛物线氧化 Ⅹ=氧化厚 B=抛物线常数 形yyy B/A=线性常数 t=氧化时间 硅 Ⅹ2 R 月=硅氧化生长率 X=氧化厚度 t=氧化时间硅 硅 硅 (a) (b) (c) 硅的线性氧化 硅的抛物线氧化 X = 化厚度 氧 B = 物线常数 抛 B/A = 性常数 线 t = 化时间 氧 X = B/At X = Bt 硅氧化生长率 氧化厚度 氧化时间