第宄章基本咒刻工艺--从曝到最终裣验 14一 伤),以及污点和其他的表面不规则等 检验方法人工检验自动检验 人工检验 下图是一个典型的人工检验次序和内容 步骤|检查内容 方法 污点/大的污染 裸眼/UV光 污点/大的污染 100~400倍显微镜 2 图案不规则性 SEM/AFM/自动 定位不准 检验设备 3 微观尺寸 显微镜/SEM/AFM第九章 基本光刻工艺------ 从曝光到最终检验 －14－ 伤），以及污点和其他的表面不规则等。 ◼ 检验方法 人工检验 自动检验 ◼ 人工检验 下图是一个典型的人工检验次序和内容 步骤 检查内容 方法 1 . 2 . 3 . 污点 大的污染 / 裸眼 UV / 光 污点 大的污染 / 图案不规则性 定位不准 100~400 显微镜 倍 SEM/AFM/ 动自 检验设备 微观尺寸 显微镜 SEM/AFM /