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这两个因素使阴极平面的不同物点成像的表现不同,换言之, 近贴聚焦也有轴外像差:畸变,像散与场曲,彗差等.其图像与分析 方法和第3章相似.由于物面较大和远轴场有明显畸变,轴外像差 可能相当严重.此类器件的中心分辨率决定于轴上色球差,边缘分 辨率多决定于像散和场曲:像在边缘区的畸变往往也较突出。 近贴聚焦毕竟得不到实像.从上述等位面不利于聚焦的畸变 容易联想到,如果改变极面形状,使等位面向左凹,可以使束流发 散角小于0,会聚到某一像面上.这一思路的结晶是如图5.4所示 的宽电子束“球形电容器聚焦成像”,其特点是物面、阳极面、像面 皆为球面,这种成像机制在实用器件中最为多见 R
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