离成分,即HeI锐线(21.2eV),是氦原子激发到共振态后由2p→ls跃迁所产生的。因没 有其它显著干扰,可不用单色仪。在较高的放电能量和降低氦压力的情况下,又可获得HeI 线(408eV),它是氦在放电过程中由离子激发态的退激发放出的光子。除氦气外,UPS 中也常用其它的稀有气体以及氢等作为放电介质,表7.5.2给出了这些气体放电中产生的 共振线的能量情况。 3电子源 电子通常由金属的热发射过程得 到。电子東具有可以聚焦、偏转、对原 子的电离效率高、简单易得等优点,在 真空法兰 电子能谱中,电子束主要用于俄歇电子 能谱仪,因用电子枪作激发源得到的俄 歇电子谱强度较大。图7.5.4是常用的 种阴极灯丝表面涂有氧化铊的钨带氮气口 (或丝)电子枪的示意图 枪的运转可以分成三部分:引出、 差分排气泵 聚焦和偏转。灯丝发射的电子在撞击样 图7.5.3UPS中使用的HeI气体放电灯示 品前被加速到2000eV至5000eV,然 意图 后被中间透镜筒聚焦,最后由改变X、 表7.5.2UPS光源的光子能量 气体IeV)Ⅱl (ev) 212240.8 1685269 16672681 图75.4常用于AES的一种电子枪 Ar l183 l1.62 H L yman Y偏转板上施加的电压来调节撞击样品的位置。样品上聚焦斑点的大小可以在 30~500m范围内发生变化,相应的束流为103~10A 在能谱仪中电子枪的位置通常有两种,一种装在筒镜电子能量分析器中,其光轴与筒 镜的对称轴一致,称为同轴电子枪,特点是装置紧凑,距离样品近、容易对中,在现代俄 歇电子能谱仪中最常见。另一种为掠射电子枪,这种枪与样品成10°~30°角,常见于使用离成分，即 He I 锐线（ 21.2eV ），是氦原子激发到共振态后由 2p →1s 跃迁所产生的。因没 有其它显著干扰，可不用单色仪。在较高的放电能量和降低氦压力的情况下，又可获得 He II 线（ 40.8eV ），它是氦在放电过程中由离子激发态的退激发放出的光子。除氦气外， UPS 中也常用其它的稀有气体以及氢等作为放电介质，表 7.5.2 给出了这些气体放电中产生的 共振线的能量情况。 3.电子源: 电子通常由金属的热发射过程得 到。电子束具有可以聚焦、偏转、对原 子的电离效率高、简单易得等优点，在 电子能谱中，电子束主要用于俄歇电子 能谱仪，因用电子枪作激发源得到的俄 歇电子谱强度较大。图 7.5.4 是常用的 一种阴极灯丝表面涂有氧化铊的钨带 （或丝）电子枪的示意图。 枪的运转可以分成三部分：引出、 聚焦和偏转。灯丝发射的电子在撞击样 品前被加速到 2000eV 至 5000eV ，然 后被中间透镜筒聚焦，最后由改变Ｘ、 Ｙ偏转板 上施加的 电压来 调节撞 击样品 的位置 。样品上 聚焦斑 点的大 小可以在 30 ~ 500m 范围内发生变化,相应的束流为 10 ~ 10 A -8 -4 。 在能谱仪中电子枪的位置通常有两种，一种装在筒镜电子能量分析器中，其光轴与筒 镜的对称轴一致，称为同轴电子枪，特点是装置紧凑，距离样品近、容易对中，在现代俄 歇电子能谱仪中最常见。另一种为掠射电子枪，这种枪与样品成   10 ~ 30 角，常见于使用 表 7.5.2 UPS 光源的光子能量 气体 I (eV ) II (eV ) He 21.22 40.81 Ne 16.85 26.91 16.67 26.81 Ar 11.83 11.62 H Lyman  10.20 图 7.5.3 UPS 中使用的 HeI 气体放电灯示 意图 图 7.5.4 常用于 AES 的一种电子枪