热处理热处理是简单地将硅片加热和冷却来达 到特定结果的一个工艺,在热处理过程中,在晶 园上不但没有增加或减去任何物质,反而会有 些污染物和水气从晶园上蒸发。 实际上这个工艺主要是针对离子注入的,因 为离子注入后注入离子会在晶体内部产生很多缺 陷,必须通过退火才能给予消除热处理 热处理是简单地将硅片加热和冷却来达 到特定结果的一个工艺，在热处理过程中，在晶 园上不但没有增加或减去任何物质，反而会有一 些污染物和水气从晶园上蒸发。 实际上这个工艺主要是针对离子注入的，因 为离子注入后注入离子会在晶体内部产生很多缺 陷，必须通过退火才能给予消除