典型LS规模两层金属集成电路结构的剖面图 M2 M2 M2 M2 M1 装M 缓M1/ 感N图 务能 ∷钨插塞M=第一层金属M=第二层金属典型VLSI规模两层金属集成电路结构的剖面图 内连接 平坦化 的氧化层 场氧化层 多晶硅 功能区 :: 插塞 钨 M1 = 一层金属 第 M2 = 二层金属 第 内连接 多晶硅