◆CVD过程中典型的化学反应 ◆CVD过程的热力学 ◆CVD过程的动力学 ◆CVD过程的数值模拟技术 ◆CVD薄膜沉积装置提 要 ◆ CVD过程中典型的化学反应 ◆ CVD过程的热力学 ◆ CVD过程的动力学 ◆ CVD过程的数值模拟技术 ◆ CVD薄膜沉积装置