·496 工程科学学报，第40卷，第4期 0.8r 104.1、112.8、130.4M对应的最大带宽分别为 一空气间隙为0.2mm 3.13、5.28和8.58Hz.且在负载相同的条件下，表 0.7 面电位越大，对应的半功率带宽越大 0.5 0.6 。-空气间隙为0.2mm 0.4 表面电位为500V 0.5 三0.3 0.4 ◆4 0 400 800.1200 16002000 0.2 表面电位N 图9表面电位与输出功率的关系 0.1 Fig.9 Relationship between the surface potential and the output pow- 0 200 40060080010001200 电阻/M2 96r 图12负载电阻与输出功率的关系 94 。-空气间隙为0.2mm Fig.12 Relation between the load resistance and the output power 92 96.0 90 。空气间隙为0.2mm 95.5 表面电位为500V 腰88 95.0 84 94.5 ≤94.0 82 93.5 800200400608001001200140016001800 表面电位N 93.0 图10表面电位与谐根频率的关系 92.5 0 200 400600 8001000 Fig.10 Relationship between the surface potential and the resonant 电阻M? frequency 图13负载电阻与谐振频率的关系 Fig.13 Relation between the load resistance and the resonant fre- 10 quency 一空气间隙为0.2mm 8 一·一表面电位为1800V 6 ·一表面电位为1400V 一★一表面电位为900V 4 2 506606868686889060688686* 400 800120016002000 表面电位N 图11表面电位与带宽的关系 Fig.11 Relationship between the surface potential and the band- 200 400 600 8001000 电阻MQ width 图14负载电阻与带宽的关系 Fig.14 Relation between the load resistance and the bandwidth 数.当空气间隙为0.2mm、表面电位为500V时，存 在一个最佳负载为70M2对应的最大功率为0.426 3 实验测试 mW.如图13所示，随着负载电阻的减小，由于耦合 作用，静电力逐渐增大，导致谐振频率从95.1Hz偏 为了进一步对理论模型和仿真分析进行验证， 移到92.6Hz.如图14所示，当表面电位分别为 本文对设计的双端固支梁驻极体静电俘能结构进行 900、1400和1800V时，存在一个最佳负载分别为 了加工制作.并结合实物（如图15所示），进行了相工程科学学报，第 40 卷，第 4 期 图 9 表面电位与输出功率的关系 Fig． 9 Ｒelationship between the surface potential and the output pow￾er 图 10 表面电位与谐振频率的关系 Fig． 10 Ｒelationship between the surface potential and the resonant frequency 图 11 表面电位与带宽的关系 Fig． 11 Ｒelationship between the surface potential and the band￾width 数． 当空气间隙为 0. 2 mm、表面电位为 500 V 时，存 在一个最佳负载为 70 MΩ 对应的最大功率为 0. 426 mW． 如图 13 所示，随着负载电阻的减小，由于耦合 作用，静电力逐渐增大，导致谐振频率从 95. 1 Hz 偏 移到 92. 6 Hz． 如图 14 所示，当表面电位分别为 900、1400 和 1800 V 时，存在一个最佳负载分别为 104. 1、112. 8、130. 4 MΩ 对应的最大带宽分别为 3. 13、5. 28 和 8. 58 Hz． 且在负载相同的条件下，表 面电位越大，对应的半功率带宽越大． 图 12 负载电阻与输出功率的关系 Fig． 12 Ｒelation between the load resistance and the output power 图 13 负载电阻与谐振频率的关系 Fig． 13 Ｒelation between the load resistance and the resonant fre￾quency 图 14 负载电阻与带宽的关系 Fig． 14 Ｒelation between the load resistance and the bandwidth 3 实验测试 为了进一步对理论模型和仿真分析进行验证， 本文对设计的双端固支梁驻极体静电俘能结构进行 了加工制作． 并结合实物( 如图 15 所示) ，进行了相 · 694 ·