3.1薄膜的附着性能 宏观效应 (d)机械锁合 图3-4机械锁合附着示意图 (e)双电层吸引 双电层吸引是由于在薄膜与基片所形 成的界面处产生双电层,异性电荷间 +++++++++ 的相互吸引; ●出现双电层的原因:薄膜和基片两种 材料的费米能级不同。 图3-5双电层吸引附着示意图 ●是一种长程力;3.1 薄膜的附着性能 (e) 双电层吸引 Ⅰ Ⅱ + + + + + + + + + f S (d) 机械锁合 双电层吸引是由于在薄膜与基片所形 成的界面处产生双电层,异性电荷间 的相互吸引; 出现双电层的原因:薄膜和基片两种 材料的费米能级不同。 是一种长程力; 图3-4 机械锁合附着示意图 图3-5 双电层吸引附着示意图 宏观效应