7.2.3.四种模式的气敏机理 2.表面电荷层理论 ·金属氧化物表面结构不连续或存在晶格缺陷，在吸附不同气体后，将形成不同形 式的表面能级。（表面能级与金属氧化物本体能带之间有电子的接受关系，因而形成表 面的空间电荷层) ,吸收气体后，空间电荷层变化（如吸附还原性气体，向空间电荷区域提供电子，使电 荷层电导率增加；反之，吸附氧化性气体使电导率下降)，引起气敏元件电阻值变化。 氧化性气体：一 气体分子 阴离子 电荷层电导率】 表面能级 吸取电子 吸附 还原性气体： 表面能 气体分子 阳离子 电荷层电导率 提供电升 吸附 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作程电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2. 表面电荷层理论 ❖ 金属氧化物表面结构不连续或存在晶格缺陷，在吸附不同气体后，将形成不同形 式的表面能级。（表面能级与金属氧化物本体能带之间有电子的接受关系，因而形成表 面的空间电荷层） ❖ 吸收气体后，空间电荷层变化（如吸附还原性气体，向空间电荷区域提供电子，使电 荷层电导率增加；反之，吸附氧化性气体使电导率下降），引起气敏元件电阻值变化。 7.2.3. 四种模式的气敏机理