10.1高能电子束与固体样品的相互作用 101.2二次电子 进入样品表面的部分一次电子能使样品原子发生单电子激 发,并将其轰击出来。那些被轰击出来的电子称为二次电子。 背散射电子在穿出试样表面时,也会激发出一些二次电子,它 们在成像时仅形成本底。 一次电子的能量较低,约为0~50eV,大部分为2~3eV, 其发射深度一般不超过5~10nm。正因为如此,试样深处激发 的二次电子没有足够的能量逸出表面。二次电子的发射与试样 表面的形貌及物理、化学性质有关,所以二次电子像能显示出 试样表面丰富的细微结构 1010 10.1 高能电子束与固体样品的相互作用 ❖ 10.1.2 二次电子 进入样品表面的部分一次电子能使样品原子发生单电子激 发，并将其轰击出来。那些被轰击出来的电子称为二次电子。 背散射电子在穿出试样表面时，也会激发出一些二次电子，它 们在成像时仅形成本底。 一次电子的能量较低，约为0～50eV，大部分为2～3eV， 其发射深度一般不超过5～10nm。正因为如此，试样深处激发 的二次电子没有足够的能量逸出表面。二次电子的发射与试样 表面的形貌及物理、化学性质有关，所以二次电子像能显示出 试样表面丰富的细微结构