10.1高能电子束与固体样品的相互作用 101.1背散射电子 弹性背散射电子是只受到试样原子核单次或很少次大角度 弹性散射后反射回来的入射电子,其能量没有发生变化。通常 把能量稍有变化的反射电子也归于这一类。 非弹性背散射电子是指那些经过几十次或上百次的非弹性 碰撞(也许含有几次弹性碰撞)后,最终仍然从样品表面反射回 来的入射电子。它们的能量高于50eV。 背散射电子反射回来时的方向是不规则的。它们的数量则 与入射角和样品的平均原子序数z有关。z越大,被散射的入 射电子也越多。背散射电子的发射深度约为10nm~1um9 10.1 高能电子束与固体样品的相互作用 ❖ 10.1.1 背散射电子 弹性背散射电子是只受到试样原子核单次或很少次大角度 弹性散射后反射回来的入射电子，其能量没有发生变化。通常 把能量稍有变化的反射电子也归于这一类。 非弹性背散射电子是指那些经过几十次或上百次的非弹性 碰撞(也许含有几次弹性碰撞)后，最终仍然从样品表面反射回 来的入射电子。它们的能量高于50eV。 背散射电子反射回来时的方向是不规则的。它们的数量则 与入射角和样品的平均原子序数 有关。 越大，被散射的入 射电子也越多。背散射电子的发射深度约为10nm～1m。 Z Z