10.1高能电子束与固体样品的相互作用 101.1背散射电子 由图10-2可以看到,入射电 子本身的运动方向也要发生某 种程度的偏斜。但是非弹性散 射的角度要比弹性散射的角度 小得多。 弹性揿射 非弹性散射 图10-2入射电∫的弹性散射与非弹性散射8 10.1 高能电子束与固体样品的相互作用 ❖ 10.1.1 背散射电子 由图10-2可以看到，入射电 子本身的运动方向也要发生某 种程度的偏斜。但是非弹性散 射的角度要比弹性散射的角度 小得多