24.3冷、热壁CVD反应器的比较( comparison of hot-and cold-wall CVd reactors 冷、热壁反应器性能的说明是基于以下两方 面的原因 1)反应器类型及其操作条件对沉积工艺具 有深刻的影响 2)在解释速率数据时,反应器操作的方式 能有利于推导定量的动力学和机理信息。2.4.3 冷、热壁CVD反应器的比较（comparison of hot- and cold-wall CVD reactors） 冷、热壁反应器性能的说明是基于以下两方 面的原因： 1） 反应器类型及其操作条件对沉积工艺具 有深刻的影响； 2） 在解释速率数据时，反应器操作的方式 能有利于推导定量的动力学和机理信息