1.半导体材料的分类 /986 >半导体性质的元素或化合物等材料由于测量对象导致半 导体的性质发生较大的变化被广泛用做敏感材料。这些 现象虽然介于各种物理、化学现象之间，但无论如何最 终都可转换为电信号。 >对采用半导体材料的敏感元件若按测量对象进行分类， 主要有光、温度、磁、形变、湿度、气体、生物等类敏 感元件。 > 多数正利用半导体微细加工技术向集成化、多功能化方 向发展。 电子科技大学敏材料与传感器课程组 制作电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1. 半导体材料的分类  半导体性质的元素或化合物等材料由于测量对象导致半 导体的性质发生较大的变化被广泛用做敏感材料。这些 现象虽然介于各种物理、化学现象之间，但无论如何最 终都可转换为电信号。  对采用半导体材料的敏感元件若按测量对象进行分类， 主要有光、温度、磁、形变、湿度、气体、生物等类敏 感元件。  多数正利用半导体微细加工技术向集成化、多功能化方 向发展