电子束与固体作用时产生的信号 ·二次电子(SE) 高能量的电子束轰击样品表面，入射电子与样品相互作用后，使 样品原子的外层电子受激发而逸出样品表面，能量小于50eV, 来自样品表面5-10nm的区域，不包含与元素相关的信息 。入射电子 →。二次电子 SE Carl Zeiss SMT 二次电子能量低 深度10nml以内 对材料表面形貌起伏敏感 88 • 二次电子（SE） 二次电子 入射电子 二次电子能量低 深度10nm以内 对材料表面形貌起伏敏感 高能量的电子束轰击样品表面，入射电子与样品相互作用后，使 样品原子的外层电子受激发而逸出样品表面，能量小于50eV， 来自样品表面5-10nm的区域，不包含与元素相关的信息 电子束与固体作用时产生的信号