电子束与固体作用时产生的信号 背散射电子(BSE) 入射电子受到样品原子核散射而大角度反射回来的电子称为背散 射电子，能量损失小于1eV。 被固体样品原子反射回来。 的一部分入射电子 0.5 E。 E。 BSE BSE BSE BSE 0.3 02 0.0 40 60 Z (ZZD Atomic number 背散射电子产额与样品平 原理图 均原子序数相关 入射电子被原子核反弹 形成背散射电子 产额与原子核状态有关 对材料成分衬度敏感 9• 背散射电子（BSE） 入射电子受到样品原子核散射而大角度反射回来的电子称为背散 射电子，能量损失小于1eV。 背散射电子产额与样品平 原理图 均原子序数相关 被固体样品原子反射回来 的一部分入射电子 入射电子被原子核反弹 形成背散射电子 产额与原子核状态有关 对材料成分衬度敏感 9 电子束与固体作用时产生的信号