掺杂工艺 在衬底材料上掺入五价磷或三价硼,以改 变半导体材料的电性能。掺杂过程是由 硅的表面向体内作用的。目前,有两种 掺杂方式:扩散和离子注入 D D G P-SI 2021/2/212021/2/21 9 二、掺杂工艺 在衬底材料上掺入五价磷或三价硼，以改 变半导体材料的电性能。掺杂过程是由 硅的表面向体内作用的。目前，有两种 掺杂方式：扩散和离子注入。 G D S D G S P-si