目标 通过本章的学习,将能够: 画出典型的亚微米 CMOS IO制造流程图 2.描述CMOS制造工艺14个步骤的主要目的 4.讨论每一步CMOS制造流程的关键工艺 半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by michael Quirk and Julian Serda半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda 目 标 通过本章的学习，将能够： 1. 画出典型的亚微米 CMOS IC 制造流程图； 2. 描述 CMOS 制造工艺14个步骤的主要目的； 4. 讨论每一步 CMOS 制造流程的关键工艺