第五章纳米材料的表征方法 1.教学目标 通过介绍三种利用不同相互作用成像的显微技术，即光学显微、扫描探针显微、和电 子束显微技术，使学生对于常用的纳米材料表征方法有初步的了解，同时掌握各种显微技术 的基本工作原理，以及各种显微技术的优劣性和应用范围。 2.教学重难与 不同表征技术的物理原理 3.教学内容 (1)了解显微的三要素： (2)了解和掌握电子与物质相互作用机理 (3)了解和掌握光学成像的原理及不同的成像方式 (4)了解电子扫描显微镜发展过程和原理： (5)了解电子光学系统发展过程、电子透射显微镜原理和电子衍射成像原理： (6)了解像差的概念和产生原理： (7)了解扫描探针显微镜的发展过程和原理： (8)了解扫描探针显微镜的工作模式： (9)了解和掌握激光扫描共聚焦显微技术： (10)了解几种不同显微技术的优缺点： 4.教学方法 教师讲授、师生讨论等 5.教学评价 课后相应习感，补充作业 第六章薄膜技术 1.教学目标 了解和掌握薄膜生长的两种常规手段：物理气相沉积和化学气相沉积。使学生了解常规 的真空技术和薄膜生长设备，掌握薄膜生长的基本原理，以及薄膜技术在生产生活中的各种 应用。 2.教学重难点 薄膜生长的动力学和原理 3.教学内容 (1)了解真空技术和薄膜生长设备： 6 6 第五章 纳米材料的表征方法 1.教学目标 通过介绍三种利用不同相互作用成像的显微技术，即光学显微、扫描探针显微、和电 子束显微技术，使学生对于常用的纳米材料表征方法有初步的了解，同时掌握各种显微技术 的基本工作原理，以及各种显微技术的优劣性和应用范围。 2.教学重难点 不同表征技术的物理原理。 3.教学内容 （1）了解显微的三要素； （2）了解和掌握电子与物质相互作用机理 （3）了解和掌握光学成像的原理及不同的成像方式； （4）了解电子扫描显微镜发展过程和原理； （5）了解电子光学系统发展过程、电子透射显微镜原理和电子衍射成像原理； （6）了解像差的概念和产生原理； （7）了解扫描探针显微镜的发展过程和原理； （8）了解扫描探针显微镜的工作模式； （9）了解和掌握激光扫描共聚焦显微技术； （10）了解几种不同显微技术的优缺点； 4.教学方法 教师讲授、师生讨论等 5.教学评价 课后相应习题，补充作业 第六章 薄膜技术 1.教学目标 了解和掌握薄膜生长的两种常规手段：物理气相沉积和化学气相沉积。使学生了解常规 的真空技术和薄膜生长设备，掌握薄膜生长的基本原理，以及薄膜技术在生产生活中的各种 应用。 2.教学重难点 薄膜生长的动力学和原理 3.教学内容 （1）了解真空技术和薄膜生长设备；