mems-OCS工作过程包括电磁感应-机械振动-光学检测 三个步骤。根据电磁感应原理，Rogowsk线圈将交变大电 流信号转变为低电压信号，再以交变小电流的形式引入到 与之串联的mems驱动线圈内，驱动线圈在永磁铁的磁场力 矩作用下使微镜绕扭转梁振动，双光纤准直器与mems扭转 微镜背面的镜面形成反射光路，镜面扭转使反射光束的方 向发生改变，从而对耦合到光纤中的能量进行调制，因此 通过对输出光损耗峰值的检测可以确定镜面转角幅度，继 而获取电流幅值信息。 2022/10/7 102022/10/7 10 mems-OCS工作过程包括电磁感应-机械振动-光学检测 三个步骤。根据电磁感应原理，Rogowski线圈将交变大电 流信号转变为低电压信号，再以交变小电流的形式引入到 与之串联的mems驱动线圈内，驱动线圈在永磁铁的磁场力 矩作用下使微镜绕扭转梁振动，双光纤准直器与mems扭转 微镜背面的镜面形成反射光路，镜面扭转使反射光束的方 向发生改变，从而对耦合到光纤中的能量进行调制，因此 通过对输出光损耗峰值的检测可以确定镜面转角幅度，继 而获取电流幅值信息